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近日，由創(chuàng)微微電子（常州）有限公司研發(fā)生產(chǎn)的8英寸Cassette-less清洗設(shè)備順利交付至上海積塔半導(dǎo)體有限公司并開始驗(yàn)證階段，運(yùn)行情況良好。近期創(chuàng)微成功中標(biāo)該客戶后續(xù)10余臺清洗設(shè)備訂單，制程涵蓋8英寸至12英寸。該批設(shè)備將用于集成電路前段濕法刻蝕、去膠、清洗以及后段金屬刻蝕、有機(jī)物去除相關(guān)工藝，標(biāo)志著創(chuàng)微在濕法清洗領(lǐng)域已達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
創(chuàng)微微電子（常州）有限公司自2020年創(chuàng)立以來，先后推出4-8英寸全自動Cassette type清洗設(shè)備、8英寸全自動Cassette-less清洗設(shè)備及4-8腔Single tool清洗設(shè)備，成功導(dǎo)入青島芯恩、成都德州儀器、上海積塔等國內(nèi)頭部芯片企業(yè)并獲得重復(fù)性訂單，取得了多項(xiàng)技術(shù)的重大突破。
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